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모델명 : U22P

배기속도(20℃) 질소 L/s 11,500
수소 14,000
Argon 9,700
Water 39,000
도달능력 Pa(Torr) 10-7(10-9)
최대유량 Argon PaL/s(TorrL/s) 1.7×103(12.8)
수소 5.0×102(3.7)
배기용량 Argon PaL(TorrL) 5.8×108(4.4×106)
수소 6.0×106(4.5×104)
냉각강하시간 min(Hz) 180/170(50/60)
Cooldown time
COMPRESSOR C30PVRT
무게 Kg 115

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