VS-TMP 라인업

CRYO PUMP VS OIL DIFFUSION PUMP

CRYO PUMP는 Diffusion Pump와 달리 Oil을 사용하지 않습니다.
따라서 Oil Back Streaming 현상 방지를 위한 TRAP 설치가 필요 없습니다.
Oil Diffusion Pump는 배기 매체를 Oil로 사용하므로 Oil Back Streaming 현상이 발생할 수 있고, Oil 역류로 인해 Chamber내부를 오염시킬 수 있으므로 고 진공을 요구하는 공정에는 적합하지 않습니다.
또한, 부착방식이 한정적이며 별도의 Adaptor가 필요하므로 배기속도가 느려집니다.

오일을 사용하지 않고 모든 기체를 동시에 배기하여 빠르고 깨끗한 진공

CRYO PUMP는 극저온으로 냉각된 CRYO PANEL에서 모든 기체 분자를 동시에 배기하여 배기속도가 빠르며,
구동부가 노출되지 않고 Oil을 사용하지 않아 깨끗한 진공을 유지할 수 있습니다.

비교
구분 CRYO PUMP Oil DIFFUSION PUMP
배기 속도 N2 (L/s) 17,000 10,000
배기 속도 H2 (L/s) 25,000 19,520
배기 속도 H2O (L/s) 39,000 12,500
동일 Size의 배기 성능 2배 (평균) 1 (기준)
동일 성능 시 소비 전력 1 (기준) 2~3배
Chamber 부착 방향 360° 수직(90°)
Maintenance 편리함 어려움, 3개월마다 Oil 교체
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