라인업 VS TMP

FEATURE

4~30 인치를 기본으로 최대 52인치 대형 펌프의 다양한 실적으로 검증된 최고의 기술력

CRYO PUMP

진공 상태의 PUMP 내부에 부착된 극저온(10~15K)의 CRYO PANEL에 부딪히는 대부분의 기체 분자(N2, Ar 등)가 응축됩니다.
수소, 헬륨 등의 평형 증기압이 높은 기체 분자는 활성탄을 통해 흡착하여 배기합니다.
80K BAFFLE과 SHIELD에는 CHAMBER 내 분포가 가장 많은 수분을 중심으로 응축되어, CRYO PANEL의 배기 능력을 높입니다.

10-7Pa(10-9Torr) 이하의 깨끗한 진공을 만들 수 있습니다.
또, CRYO PUMP는 10-1Pa~10-7Pa의 넓은 압력 범위에 대해 높은 배기 속도를 가지고 있습니다.

장점

  • 깨끗한 진공

  • 모든 기체 배기

  • 빠른 배기속도

  • 간단한 구성 및 사용

  • 유지비용 절감

  • 자유로운 부착

오일을 사용하지 않고 모든 기체를 동시에 배기하여 빠르고 깨끗한 진공

CRYO PUMP는 극저온으로 냉각된 판넬에서 모든 기체 분자를 동시에
배기하여 배기속도가 빠르며, 구동부가 노출되지 않고 Oil을 사용하지 않아 깨끗한 진공을 유지할 수 있습니다.

  • CRYO PUMP Pumping

  • 모든 기체를 동시에 배기

유지비용의 절감 및 용이성

CRYO PUMP는 오직 CRYO PUMP로만 고진공을 만듭니다.
타 펌프와 달리 작동 시에 보조 펌프가 필요 없으며, 전력 사용이 적어 기종에 따라 1/2 ~ 1/5까지 소비전력을 감축할 수 있습니다.
COMPACT한 디자인으로 CHAMBER의 어느 곳에나 장착이 가능하여, 고객의 상황에 따라 자유로운 맞춤 설계가 가능합니다.

간단한 구성, 사용

CRYO PUMP는 CRYO PUMP 본체, He Compressor, 연결 Accessory 만으로 구성, 사용이 가능하므로 COMPACT하며, 조작이 간편합니다.

    진공분야

    • 진공증착

    • SPACE CHAMBER

    • SPUTTERING

    • ENCAPSULATION

    • 이온주입

    • 가속기

    • 핵융합

    • 표면분석

    저온분야

    • 신소재 분야

    • 냉동 냉각분야

    • MRI 의료분야

    • 교통운송분야

    • ENERGY 분야

    • 초고속 통신분야

    • 항공 우주분야

    • 기초물리학분야

  • Sputter-Type : Ar과 H2 배기에 최적화하여 재생주기, 장치가동률, 성막질 향상에 공헌합니다.
  • L-Type : 고객의 장비 구조에 따라 편리한 설치를 위하여 보다 COMPACT한 디자인
  • Bakeable-Type : 극고진공 최적화
  • 급속 상온재생 : 펌프의 재생시간을 대폭 감소시킨 제품, 조건에 따라 1/3까지 단축 가능
  • 내식성 PUMP : 펌프 내부 특수코팅을 통해 내식성 향상, 다양한 용도로의 응용력 우수

  • L-Type

  • Sputter-Type

  • Bakeable-Type

  • 내식성 펌프

제품 자세히 보기
TOP ▲