CRYO PUMP는 TMP에 비해 무겁거나 가벼운 기체분자에 상관없이 모든 기체를 동시에 배기합니다.
또한, PUMP 내부에 구동부가 노출되지 않으므로 이물질이 유입되어도 정상 작동하여 안심하고 사용할 수 있습니다.
Chamber 내부에는 H₂O 분자가 가장 많이 존재하고 있습니다.
CRYO PUMP는 모든 기체분자를 극저온면에 흡착, 응축하는 방식으로 배기하므로 H₂O의 배기에 월등한 능력을 가지고 있습니다.
기체 분자별로 배기 구간이 나뉘어져 있어 SPEC상의 배기능력과 동일한 성능을 발휘할 수 있습니다.