SUPER TRAP과 COIL TYPE TRAP는 Chamber 내부의 H₂O를 배기합니다.

SUPER TRAP은 COIL TYPE TRAP에 비해 부착, 설치, Maintenance가 용이하며, 통과형(F type), 클로즈형(C type), 누드형(N type)의 라인업으로 장비의 형상, 용도에 맞게 설치하여 효율적으로 H₂O를 배기를 할 수 있습니다.

COIL TYPE TRAP는 Chamber 벽에 고정을 해야 하며, 냉각기 또한 대형이라 공간의 제약이 있다면 설치가 불가능 합니다.
또한 COIL TYPE TRAP는 Chamber Wall을 통해 전달되는 복사열 때문에 실제 배기속도와 차이가 발생하나, SUPER TRAP은 100% 배기 가능합니다